儀器介紹
橢圓偏振法測量的原理很早就已提出，相應(yīng)的測試方法和設(shè)備也不斷地被改進(jìn)和創(chuàng)新，使得橢圓偏振法成為重要的測試手段，并廣泛地應(yīng)用在光學(xué)、材料、生物、醫(yī)學(xué)等各個領(lǐng)域。其中測量薄膜材料的厚度、折射率和消光系數(shù)是橢圓偏振法基本和重要的應(yīng)用之一。自動橢圓偏振測厚儀

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橢圓偏振法測量的原理很早就已提出，相應(yīng)的測試方法和設(shè)備也不斷地被改進(jìn)和創(chuàng)新，使得橢圓偏振法成為重要的測試手段，并廣泛地應(yīng)用在光學(xué)、材料、生物、醫(yī)學(xué)等各個領(lǐng)域。其中測量薄膜材料的厚度、折射率和消光系數(shù)是橢圓偏振法基本和重要的應(yīng)用之一。

SGC-2自動橢圓偏振測厚儀產(chǎn)品特點

· 儀器采用消光式橢圓偏振方式測量

· 精度高、自動控制

· 光源采用氦氖激光，波長精度高

· 儀器采用USB接口與電腦連接

· 配套軟件對采樣數(shù)據(jù)具有多種處理方式，適用于不同需要

· 軟件有完整版及學(xué)生版兩種版本，適于教學(xué)要求

SGC-2自動橢圓偏振測厚儀參數(shù)

測量范圍：	1nm-400nm
測量小值：	小于等于1nm
鍍膜折射率范圍：	1.300-10.000
入射角：	40°-90°
方位角讀數(shù)范圍：	0°-180°
測量精度：	±5nm
厚度：	小于等于10nm

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